Ｆ４００控温温控器，分别对应控制炉体的左、中、右三段温度（从炉体正面看）。另外还安装了３个ＣＨ４０２温控仪用于超温冗余保护，以确保在主控温控仪失效时炉温不至于失控。每层安装有１台工控计算机（ＩＰＣ６１０Ｐ）、１块外置控制板卡（７８６固态继电器载板）。
打开工控计算机控制面板，能够正常的看到工控计算机控制面板上装有电源开关、软驱插口、电源指示灯（ＰＯＷＥＲ）、硬盘指示灯（Ｈ．Ｄ．Ｄ）、ＫＢ－ＬＫ指示灯、复位（ＲＥＳＥＴ）按键、键盘锁（ＫＢ－ＬＯＣＫ）按键。
在控制柜的底层，安装有三管控制管理系统的推舟控制装置、保护电路、电路转接及控制板。前下面板上装有三相电源指示灯及照明、净化、抽风开关等。
推舟净化柜的顶部装有照明灯，正面是水平层流的高效过滤器及３层推舟的丝杠、导轨副传动系统和碳化硅悬臂桨座；丝杠的右端安装有驱动步进电机，导轨的两端有限位开关及极限保护开关；在柜子顶部靠近炉子处有外径为１００ｍｍ抽风口。
电阻加热炉柜共有５层。顶层的配置有水冷散热器及排热风扇，顶部设有外径为１００ｍｍ的抽风口，与外接负压抽风管道连接后，可将工艺过程中产生的残余废气带走。
中部分３层，放置３个炉管，每层由两根方管支撑炉管，其位置与推舟送片机构———丝杠、导轨副调好对中。在炉管外壁的中部，安装有３个热电偶接线支热电偶，热偶Ⅰ用来控温，热偶Ⅱ为超温保护热电偶。３个控温热电偶分别连接控制柜上对应层的左、中、右温控器，３个超温保护热电偶连接到控制柜底层的温度保护器。
每管炉体的左侧设置有废气室，以排放工艺过程中产生的有毒有害化学气体。废气室里面均带有风门调节板，正常的情况下从上至下，逐步加大风门板。炉柜的底层安装有三管加热炉的功率部件（可控硅、散热器、接触器、变压器、过零触发器等）以及电源总进线转接板。底部正面的门板内侧装有散热风机，用于对可控硅进行散热。
气源柜分为４层。顶部设置有外径为Φ１００ｍｍ的排毒口，用于排出在换源过程中以及管道泄漏的有害化学气体。柜顶设置有３路工艺气体的进气接口，接口以下安装有减压阀、截止阀，用于对进气压力来控制及调节。各层分别装有对应于气路的电磁阀、单向阀、质量流量控制器及源瓶冷阱等。
气源柜的底部装有质量流量控制器电源、控制开关、保险丝等电路转接板。在源柜底板上安装有一个小变压器，用于进口冷阱。
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